普旭(Busch)在 SEMICON / FPD China 2019 展示應用于半導體及平板顯示行業的真空解決方案

Shanghai, China 在今年的 SEMICON / FPD China 2019 ,普旭(Busch)展示了應用于半導體行業最新的節能解決方案。
現場關注:外殼拆解后的 COBRA DS 3010 E 干式螺桿真空泵引起參觀者極大興趣. Source: Busch China
現場關注:外殼拆解后的 COBRA DS 3010 E 干式螺桿真空泵引起參觀者極大興趣. Source: Busch China

在我們的展位上,參觀者們不僅可以詳細了解我們在現場展示的集一流的抽速及極低的運行成本于一身的 COBRA DS 系列螺桿真空泵,更可以透過拆解開的外殼近距離看清我們的 COBRA DS 3010 E。

COBRA DS 干式螺桿真空泵具有干式壓縮、獨特的螺桿設計和無阻礙的氣體排放的特點,這使之具有優良的蒸汽和顆粒耐受性,也使得 COBRA DS 系列螺桿真空泵成為光伏電池、平板和半導體生產中所有苛刻工藝的理想真空泵。

COBRA DS 3010 E還標配了一個獨立的羅茨泵,因此可以提供更高的抽速和更低的極限壓力。前級泵和羅茨泵組合在一個緊湊的框架上。配備了高效電機,COBRA DS 3010 E 可以節省大量能耗。由于維護要求低,運行成本低,使用壽命長,所以總體的使用成本很低,這也使得我們的COBRA DS 系列螺桿真空泵成為行業內值得信賴的真空泵。


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