運行13年 - COBRA BC 創下 GlobalFoundries Fab 1 的里程碑

持續運行十三年。這相當于以 50Hz 運轉 211 億轉以上。2018年 1 月中旬,COBRA BC 干式螺桿真空泵在一家德國半導體制造廠創下了這一非凡的里程碑,佐證了其在堅固性、可靠性和低維護方面長期享有的美譽。
Source: Busch Dienste GmbH
Source: Busch Dienste GmbH

自 2005 年以來,這臺 COBRA BC 真空泵在德國德累斯頓的 GlobalFoundries 生產廠 Fab 1 連續運行,是這里運行時間最長的 COBRA BC 真空泵。德累斯頓的 Fab 1 是全球首家工業化量產制造銅線微芯片的生產基地,該技術現在是全球半導體生產的基礎。

德累斯頓基地安裝了總計 194 臺 COBRA BC 0100 干式螺桿真空泵,用于半導體工業中的 300 mm 晶片生產。其中 47 臺 COBRA BC 已經連續運行 10 多年,22 臺 COBRA BC 已經達到運行 100,000 小時(運行 11 年以上)的里程碑。一般來說,在負載鎖定應用中,連續運行超過五年或六年就已經是行業的預期了。

COBRA BC 真空泵主要用于外延和物理氣相沉積(PVD)工藝的真空進樣室應用,以及在其他無塵流程中的晶片處理和標準衡量,以此確保光刻工藝的質量。

COBRA BC 0100 F 是久經考驗的 COBRA BC 系列產品組合中的干式螺桿真空泵,處理能力更加強大,可以為要求最為苛刻的太陽能、平板顯示器和半導體應用提供世界一流的緊湊型、高負荷和大流量真空進樣室解決方案。因其獨特的螺桿泵設計,該真空泵具備卓越的粉塵處理能力。

COBRA BC 系列也提供 COBRA BC Premium Efficiency 級產品,能耗足跡更低,因此耗電量的下降可高達 40%。Premium Efficiency 級產品基于久經考驗的 COBRA BC 技術平臺。

普旭(Busch)在德累斯頓擁有一支服務團隊,包括九名技術服務人員和一位團隊主管,提供每天 24 小時、每周 7 天的全天候服務,確保了已安裝的數百臺 普旭(Busch)真空泵極高的系統使用率。另外,該服務團隊還提供廢氣凈化系統維護服務。

GlobalFoundries 是全球頂級半導體公司之一,在德累斯頓的生產基地生產 40nm 至 22 nm的工藝節點。其德累斯頓生產基地是歐洲生產微芯片的最大生產基地。 .


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